台积电携手设备供应商针对测试机台开发，智能压缩干燥空气(CDA)流量控制系统

(图：取材自台积电ESG官网)
晶圆代工龙头台积电携手设备供应商针对测试机台开发智能压缩干燥空气 (CDA) 流量控制系统，节省测试机台 70% CDA 用量，已导入先进封测厂针测机 (Prober)，预计第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新，并列为新建先进封测厂测试机台标准设计。

台积电实践绿色制造，致力优化制程能源使用效率，除以二大策略、6 项行动方案扩大节能成效外，在不影响机台效能的前提下，开发 CDA 流量控制系统。截至今年 3 月，每年减少碳排放量 4473 公吨、省电 891 万度。

晶圆测试目的为确认每片晶圆的可靠度与良率，依不同测试环境需求，部分测试机台由厂务系统全时段供应 CDA，以确保低温时仍保持干燥，维持测试环境稳定性。

台积电指出，因半导体制程快速演进使测试需求持续增加，为提升机台运作与 CDA 使用效率，测试营运处 2020 年第三季启动智能 CDA 流量控制系统开发项目，与设备供应商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软件系统，透过撷取机台参数，可依据测试环境需求自动控制 CDA 流量开关，达到有效节省 CDA 用量与电力效益。

台积电预计第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新，并将智能 CDA 流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计，预估至 2026 年可年省 4000 万度电、减碳超过 2 万吨，相当于 52 座大安森林公园 1 年的二氧化碳吸附量。

台积电也规画将智能 CDA 流量控制系统导入测试机 (Tester)，持续扩大节能效益，朝能源使用效率最佳化目标迈进。