台积电推动光阻供应链在地化 年产值逾10亿元。(图：取材自台积电ESG官网)

晶圆代工龙头台积电 (2330-TW)(TSM-US) 为确保制程关键材料光阻稳定供应，打造创新商业模式，推动光阻供应链在地化，去年光阻供应商在台设立第一座极紫外光 (EUV) 光阻生产工厂，截至今年 4 月，年产值超过新台币 10 亿元，台积电并评估第四季建立「机台租赁平台」，提供有需求的供应商使用。

随着台积电产能扩张，原物料需求亦不断成长，为确保光阻稳定供应，台积电将曝光机台以租赁方式提供光阻供应商使用，降低其投资成本、提升来台设厂意愿。截至 4 月，光阻供应商已在台产出超过千瓶 EUV 光阻剂，创造逾新台币 1 亿元商业价值，同时达到台积电资产活化再利用效益。

光阻是半导体微影制程的重要材料，因验证其质量的曝光机台售价与保养费用高昂，使光阻供应商来台设厂进度难以推进。

为解决光阻供应商投资成本过高问题，同时促进在地供应链发展，台积电资材供应链管理处携手营运资源规划处、晶圆十二 A 厂，依产能需求全面盘点厂内机台资源，将曝光机台出租予光阻供应商，使其无须额外购买机台验证光阻质量。

台积电邀请光阻供应商来台设厂后，不仅光阻生产周期由 28 天缩短为 17 天、减少 18% 空运过程碳排放量，在地化生产年产值更逾新台币 10 亿元，有效降低进口供料风险与成本支出。